蘇州曼特萊精密電子有限公司通過國家真空設備質量監(jiān)督檢驗中心多年真空行業(yè)產品檢驗檢測服務，分析真空行業(yè)獲得產品質量狀況，提出真空產品存在的問題和產生原因及建議。
1、基本情況
我國真空行業(yè)起步于20 世紀五、六十年代，到90 年代后進入快速發(fā)展期，近二十年真空技術應用領域快速擴展，目前其應用領域遍布國民經濟各行業(yè)，如航天航空、核工業(yè)、冶金及冶煉、汽車行業(yè)的零部件真空熱處理，電工行業(yè)、電子信息行業(yè)生產半導體集成電路的主要設備、造紙行業(yè)、環(huán)保行業(yè)、食品和醫(yī)藥行業(yè)等等，同時成為高新技術產業(yè)發(fā)展提供重要設備的行業(yè)，為此真空產品的性能、質量和技術水平直接影響國民經濟各行業(yè)，真空行業(yè)的產品質量的檢督和**成為必要。
國家真空設備質量監(jiān)督檢驗中心于1987 年由真空行業(yè)**的***研究所沈陽真空技術研究所組建，是因真空行業(yè)發(fā)展的需求而建立，本中心1998 年通過中國合格評定國家認可委員會認可，是經中國國家認證認可監(jiān)督管理委員會授權的第三方檢驗檢測機構，承擔行業(yè)產品質量的監(jiān)督和檢驗工作，曾4 次承擔國家真空設備質量監(jiān)督抽查任務、多次法院委托的仲裁檢驗以及新產品檢驗等，為真空行業(yè)的技術進步和產品質量水平的提高做出了重要貢獻。
1.1、真空行業(yè)的產銷及總體質量情況
我國真空行業(yè)產品主要分三大類：1. 真空獲得設備：各類真空泵主要有旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵、蒸汽流真空泵、水環(huán)真空泵、干泵、分子泵等；2.應用設備：真空鍍膜設備、各類真空爐等；3.真空儀表和真空配件：各類真空閥門和真空計等。
企業(yè)分布：真空行業(yè)生產企業(yè)約有500 家，在國內的地理分布主要為五大區(qū)域，遼寧地區(qū)(包括北京)、江浙區(qū)域(包括上海)、廣東地區(qū)、山東地區(qū)、西部(包括成都、蘭州)。
據(jù)2010 年中國通用機械工業(yè)年鑒公布統(tǒng)計50 家會員企業(yè)完成工業(yè)總產值(當年價)40.73億元人民幣，其中實現(xiàn)營業(yè)收入34.48 億元，完成出**易值2.04 億元， 完成工業(yè)銷售產值39.13 億元。
目前國內真空應用領域，國產獲得產品占主導地位，如旋片泵、水環(huán)泵、滑閥泵、羅茨泵、蒸汽流真空泵等低端真空獲得產品在性能方面基本能夠滿足不同的工藝過程要求，在國內市場占有率較高；部分產品出品的比例逐年增加。對于**產品(指技術含量高的產品)無油真空泵(干泵等)，一直以來外商品牌產品在國內市場占有率較高，但近幾年，國內廠家在研發(fā)和生產有長足進展，紛紛推出各種類型的干泵產品，并以其較高的性價比，得到了用戶的廣泛認可，其市場占有率大幅度提高。
近十幾年，真空行業(yè)整體水平有大幅度提高，低端真空產品生產從設計水平到加工制造和性能都已趨向成熟，主要企業(yè)生產的產品質量比較穩(wěn)定，外觀質量有了明顯的提高，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產品有些技術指標已接近或達到******。過去長期存在的噴油、漏油問題近幾年得到一定的控制，泵的材料性能得到改善，目前，旋片真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵產品的總體質量水平能夠達到現(xiàn)行行業(yè)標準要求的約90%左右，主要問題為抽氣速率偏低，噪聲、振動偏大。蒸汽流真空泵的總體質量水平能夠達到現(xiàn)行行業(yè)標準要求的約占80%左右，主要問題為極限壓力達不到標準要求，10-2 Pa 時測量抽速壓力不穩(wěn)定，造成抽速無法測量。整體看產品長期運行的可靠性、噪聲和振動等性能與國外廠家產品相比有明顯差距。
**真空獲得產品(無油泵)發(fā)展較快，廠家增加迅速，發(fā)展方向由單泵向多級組合，機組化方向發(fā)展，產品的真空性能趨于穩(wěn)定，產品質量達到行業(yè)標準要求，無油泵目前市場占有率大幅提升，整體性能水平接近國外產品。
2、綜合分析
2.1、檢驗檢測情況
2.1.1、開展全行業(yè)產品質量檢測情況
繼1995 年*后一次國家監(jiān)督抽查以后，國家不在開展行業(yè)監(jiān)督抽查為真空行業(yè)健康發(fā)展，我中心與行業(yè)協(xié)會配合，進行不定期全行業(yè)產品質量檢測，2009 年由行業(yè)協(xié)會委托，本中心開展了全行業(yè)產品質量檢測：本次檢測對旋片泵、滑閥泵、往復泵、水環(huán)真空泵、羅茨泵、油擴散泵、真空閥門7 大類，40 余種產品進行了產品型式檢驗。有20 余家行業(yè)內骨干企業(yè)參加，代表行業(yè)的整體水平，檢驗結果為：參檢產品均達到真空行業(yè)標準的要求，反映真空行業(yè)企業(yè)產品的性能水平整體基本達到行業(yè)標準要求。
目前本中心的檢測任務為企業(yè)委托檢驗檢測和新產品鑒定檢驗檢測。2014 年真空產品委托檢驗情況見表1。
表1 2014 年委托檢測基本情況表
2014 年委托檢測基本情況表
2.1.2、主要性能指標情況
真空泵的用戶*關注的是滿足生產要求的基礎上進一步提高生產效率，反映到真空泵上就是真空泵的抽氣能力-“抽氣速率”，所以泵抽氣速率也是本中心的重點檢驗項目。由于企業(yè)和用戶均十分重視泵的抽氣能力，近幾年中心對送檢的真空泵檢驗的情況來看，該項目指標基本保持穩(wěn)定，絕大多數(shù)企業(yè)產品達到國標要求。
2.1.3、干式泵檢測情況
隨著整個社會環(huán)保意識的增強，油泵在醫(yī)藥、食品等許多行業(yè)領域將被干式真空泵所取代，實現(xiàn)了無油清潔真空，近年來干式真空泵在半導體產業(yè)和薄膜工業(yè)已廣泛應用，干式真空泵已發(fā)展到實用和普及的階段。近兩年送檢的干式真空泵數(shù)量明顯增加，對送檢的真空泵檢驗的情況來看，國內企業(yè)生產的干式真空泵技術指標達到行業(yè)標準的要求。
2.1.4、真空泵**性指標情況
真空泵**性指標較為常見的項目有真空泵振動噪聲、噴油、漏油、電氣絕緣強度等，真空泵振動噪聲：旋片泵的振動噪聲源于泵油對閥片的沖擊，配用電機以及振動、旋轉件等；滑閥泵的噪聲主要源于排氣、機構振動和激勵、轉子動平衡配合、電機與軸承以及泵油的沖擊等多種因素疊加的結果；羅茨泵振動和噪聲源于轉子動平衡及其也有的軸承和齒輪精度不夠，該項指標還有少部分產品達不到標準要求。真空泵的噴油：旋片泵滑閥泵在啟動時，大量噴出油滴、油霧造成環(huán)境污染，使人體受到傷害。主要原因為擋油裝置簡單，泵出口不加油霧分離器。真空泵噴油：旋片泵、滑閥泵、羅茨泵的動密封經不住長期運轉，國產動密封漏油現(xiàn)象比較普遍。近幾年生產廠家下力氣加以解決，成效顯著，噴油、噴油問題基本得到解決。電氣絕緣強度，蒸汽流真空泵的加熱器與泵外殼應絕緣可靠，該項普遍都符合要求。總體看，真空泵**性指標中，噪聲方面需要我們在設計、加工、選材方面深入的進行研究，進一步降低泵噪聲。
2.2、存在的問題及原因分析
1)偶有①旋片泵噴油漏油；②羅茨泵、滑閥泵、干泵噪聲高于國外先進產品；③擴散泵極限壓力達不到要求。真空閥門漏率達不到標準要求。
2) 國產真空泵與國外知名企業(yè)的泵相比普遍存在穩(wěn)定性和可靠性較差；真空行業(yè)標準有些技術指標制定的偏低，如滑閥泵比功率和噪聲指標、擴散泵的主要技術指標，并且內容涵蓋的不夠**，如羅茨泵的*高工作溫度、環(huán)保方面沒有規(guī)定，并且更新頻度有待加快。總體看國產真空泵的生產與國外先進水平相比在設計、加工制造、裝配、檢測等諸環(huán)節(jié)還有一定差距，但是經過真空界的有識之士和廣大用戶的共同努力，這種差距正在不斷縮小。
3)原因：設計研發(fā)方面：自主**投入差，缺乏自主**設計，以模仿為主；選用的密封部件質量不過關、加工手段較落后。
沒有有效的產品耐久性可靠性的檢測，產品可能發(fā)生故障不了解，沒有有效的技術跟進和技術改進，耐久性可靠性檢測因為試驗要花費大量時間和人力，在沒有強制要求的情況下，自覺的按標準要求去做的生產企業(yè)不多，而大多數(shù)生產企業(yè)不做任何可靠性試驗，或不嚴格按照現(xiàn)行標準中規(guī)定的無故障運行期(類似壽命試驗)要求執(zhí)行，只在無負載情況下運行，沒有達到耐久性和可靠性試驗的要求。因此，產品的故障率較高。行業(yè)標準制修訂中顧及大多數(shù)生產企業(yè)的技術能力，使有些技術指標偏低和標準涵蓋不全。
由于真空行業(yè)真空產品生產無強制性產品認證、生產許可證要求、近些年無國家質量抽檢，企業(yè)生產狀況完全靠市場主導，不可避免有以次從好，假冒偽劣產品存在，制約行業(yè)健康發(fā)展。
3、建議
企業(yè)應該注重提高產品品質，進一步提升產品的關鍵技術指標，提高加工制造水平，重視產品性能測試和可靠性測試，使企業(yè)真正了解產品性能，有效的技術跟進和技術改進來完善產品，另外真空泵的性能質量不僅僅取決于生產廠商的制造本身，大量的配套產品對真空泵的質量也起到了至關重要的作用，真空泵生產廠商應該選用上等的配套產品，這對提高真空泵的產品質量是至關重要的，如此才能打造具有市場競爭力的高品質產品，注重市場需求，注重技術**，加大新產品研制與技術改造的投入，在市場經濟條件下，需求決定供給，買方市場對產品質量、性能、品種、價格、服務會不斷提出新的要求，技術**注重節(jié)能減排，著重降低產品能耗、減震、降噪，開發(fā)注重國際市場的開拓，適合市場的新產品，是占領市場的法寶。加強真空行業(yè)質量監(jiān)督和管理、更好的發(fā)揮質檢中心和標準化對行業(yè)產品質量的監(jiān)督和引導作用。
真空行業(yè)為各行各業(yè)提供基礎裝備，其應用領域十分廣泛，并不斷擴大，如航天航空、核工業(yè)、冶金和冶煉、電工、電子信息的半導體、造紙、環(huán)保行業(yè)等等，真空設備的品種、性能、質量和技術水平直接關系影響到國民經濟的各行各業(yè)，特別是高新技術領域技術裝備的能力，因此加強真空行業(yè)質量監(jiān)督和管理，通過國家真空設備質量監(jiān)督檢驗中心為行業(yè)提供檢驗檢測服務的渠道，掌握行業(yè)產品質量狀況，為行業(yè)標準的制定提供可靠的技術支撐，為政府部門提供權威產品質量數(shù)據(jù)和分析對策，為行業(yè)提供技術質量基礎信息和發(fā)展建議，從而更好的引導企業(yè)產品升級和質量提升，使真空行業(yè)健康發(fā)展。
技術標準是產品設計制造的靈魂，通過標準的提高和**，帶動和規(guī)范產品性能的提高，在標準修制訂中，要涉及環(huán)保、節(jié)能減排指標和瞄準國外先進產品的指標，以提高國內產品的檔次，保證用戶的經濟利益，引導企業(yè)采用先進標準，推動生產企業(yè)技術**和技術改造，淘汰落后，推動行業(yè)技術發(fā)展，提升產品質量和市場競爭力。